Наши сборки линейных направляющих доступны в сверхточном классе точности UP, в них используется расположение отверстий с половиной шага, что обеспечивает превосходную точность монтажа и упрощает высокоточную сборку. Наша линейка продуктов обслуживает основные рабочие процессы полупроводников, включая изготовление пластин, фотолитографию, ионную имплантацию, нарезку пластин, соединение кристаллов, соединение проводов и упаковку чипов. В нашем портфолио, обеспечивающем стабильность вращения на микронном уровне, имеются линейные направляющие шарикового типа, линейные направляющие роликового типа, узлы изогнутых направляющих и специальные узлы роликовых шлицев. Эти решения удовлетворяют различным требованиям, предъявляемым к конкретному процессу: работа без пыли, работа в вакууме, устойчивость к высоким температурам, высокая жесткость, способность выдерживать большие нагрузки и немагнитные характеристики.
